手動でもステージの精度を測定可能な「フリーランモード」

XM-60の「フリーランモード」を使用すれば、モータに接続していないリニアステージのガイドも簡単に精度測定を行うことができます。


「フリーランモード」では、手動でスライダを動かした際の結果を、位置やターゲット数を定義しなくても、位置決めに対する真直度(水平および垂直)、ピッチ、ヨー、ロール偏差を表示します。

また、XM-60は6自由度誤差測定が常に有効なため、1自由度ごと測定する必要がありません。
 リニアステージの組み付け作業や補正作業など、これまで多くの時間と工数を要していた作業を大幅に短縮する事が可能となります。

 

直線軸が持つ6自由度を、同時に測定

空間における物体の位置は、6つの自由度(位置決め、角度(ピッチ/ヨー)、真直度(垂直/水平)、ロール)で定義されます。

 

6自由度を測定するためには、多くの段取りと測定機を必要としてきましたが、XM-60 は 1 回のセットアップで全6自由度を計測することが可能です。

これまで、6自由度誤差の測定を行なう多くの場合、同時に測定する事が出来なかったため、1つの誤差を測定するたびに再度セットアップを行う必要があり非常に手間と時間がかかります。

直接的にかつ同時に、そのすべての誤差を測定できるXM-60は、工数を削減できるだけでなく正確な機械性能も評価できるようになります。

直接測定により、ピッチ補正作業の時間を大幅に削減

空間測定を行うためには、各自由度の変位を計算して求めてきました。

従来のほとんどの測定方法では、1軸だけ再測定したくても、全ての構成軸の全点を測定しなければ算出する事ができず、大きな負担となっていました。

XM-60は、各要素点の6自由度を直接測定するため、空間補正やピッチ補正など補正作業後の再測定の際でも補正を行った場所のみの測定で結果が得られます。また、各自由度の結果には測定タイミングなどの誤差が無く、正確で信頼性の高い結果を取得することが可能です。

 

信頼性の高いトレーサビリティ体制

XM-60 の性能は、国際標準に対してトレーサブルで、すべてのユニットに校正証明書を付けてお届けします。システムが現場で常に仕様精度を維持するという安心を得ることができます。

興味を持った、すべての機械ユーザーへ

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マルチアクシスキャリブレータ


 

測定項目と分解能

 

・位置決め      :1nm 

・角度(ピッチ/ヨー) :0.03μrad 

・真直度(水平/垂直) :0.25μm 

・ロール       :0.5μrad



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